Inauguration du volet marseillais du projet de grands équipements scientifiques Pertinence
L’inauguration des réalisations du volet marseillais du projet de grands équipements scientifiques Pertinence – Développement des centrales de technologie de la région sud Provence – s’est déroulée sur le campus de Saint-Jérôme à Marseille le 9 février 2026. Issu du contrat d’avenir 2021-2027, le projet Pertinence vise à doter les plateformes technologiques de la région Provence-Alpes-Côte d’Azur des équipements en micro et nanofabrication nécessaires pour réaliser des projets de recherche et développement dans des domaines appliqués à fort impact tels que les télécommunications, l’énergie et la santé, et proposera une offre de services diversifiée.
En permettant de nouer des collaborations avec des PME innovantes de la région et des grands groupes industriels à travers des projets communs et des prestations, ce projet se distingue par son fort lien avec le monde socio-économique. Ces centrales de technologie participeront également à la formation des étudiants et joueront un rôle primordial dans le cycle de doctorat.
Ce projet réunit quatre laboratoires de la région Provence-Alpes-Côte d’Azur : trois laboratoires marseillais, le Centre interdisciplinaire de nanoscience de Marseille (CINAM)1 , l'Institut Fresnel2 et l'Institut matériaux microélectronique nanosciences de Provence (IM2NP)3 et un laboratoire sur Nice, le Centre de recherche sur l'hétéroépitaxie et ses applications (CRHEA)4 .
Le volet marseillais du projet Pertinence implique plus précisément les plateformes technologiques Espace photonique, PLANETE et NanoTecMat, rattachées aux trois laboratoires précédemment cités, qui sont toutes les trois labellisées « Plateforme technologique du site d’Aix-Marseille » et intégrées au réseau national RENATECH+ du CNRS. Ces trois plateformes proposent des offres différentes mais complémentaires (filtres et couches minces optiques pour l’Espace photonique, micro et nanofabrication pour PLANETE et filière silicium pour NanoTecMat) avec des applications qui relèvent de la science des matériaux, des nanotechnologies, de la microélectronique, du spatial, des technologies quantiques, du photovoltaïque et des sciences de la vie.
Le projet a été défini collectivement de façon à assurer une parfaite complémentarité entre les plateformes régionales. Les objectifs recherchés pour chacune des plateformes sont les suivants :
- Concernant l’Institut Fresnel : la plateforme photonique dispose d’équipements de très haut niveau notamment pour le développement de filtres complexes à base de couches minces optiques. L’objectif du projet HELIOS pour l’Institut Fresnel était de disposer des nouvelles avancées en terme de technologie par pulvérisation cathodique magnétron pour le développement d’empilements multicouches complexes et de compléter notre panel de techniques de dépôt de couches minces optiques, notamment compatibles semi-conducteurs et wafers 8 pouces.
- Concernant le CINAM : le laboratoire dispose d’équipements de très haut niveau notamment en microscopie électronique et nanofabrication regroupés au sein de la plateforme PLANETE. L’objectif du projet FIB SEM du CINAM est triple. Il s’agit de disposer de méthodes de préparation d’échantillons permettant de développer les techniques d’analyse tridimensionnelle en sciences des matériaux et sciences de la vie, de remplacer un équipement Focused Ion Beam (FIB) obsolète (acquis en 2002) et de compléter le panel de techniques de nanofabrication en particulier de lithographie.
- Concernant la plateforme NanoTecMat de l’IM2NP, qui regroupe une chaîne d’outils technologiques de pointe en micro/nanofabrication et nanocaractérisation, l’objectif du projet d’équipements vise, d’une part, à consolider l’offre technologique de NanoTecMat en assurant le remplacement d’un microscope à force atomique, AFM, équipement de nanocaractérisation qui est au cœur des différents procédés développés dans la plateforme, d’autre part, à étendre l’offre technologique de la plateforme en développant des nouveaux moyens et expertises associée en métrologie grâce à une équipement d’ellipsométrie spectroscopique et en traitement/élaboration de nanostructures grâce à une source d’évaporation par canon à électrons et sources plasmas pour le traitement de surface.
Financé dans le cadre du contrat d’avenir 2021-2027, le coût global de cette opération s’élève à 2 989 000 € pour le volet marseillais, financé comme suit :
- Région Provence-Alpes-Côte d’Azur : 1 339 400 €
- État (France 2030 / PEPR électronique) : 454 500 €
- État (CNRS) : 250 000 €
- État (DRARI) : 244 100 €
- Ville de Marseille : 500 000 €
- Ressources propres laboratoires : 201 000 €
Le projet s’est terminé à l’été 2025 et l’ensemble des équipements est désormais opérationnel et mis en œuvre dans divers projets scientifiques et industriels.
